一種以帶尖籽晶為參照的單晶爐液口距測量方法及裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110591277.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113308731B | 公開(公告)日 | 2022-02-18 |
申請公布號 | CN113308731B | 申請公布日 | 2022-02-18 |
分類號 | C30B15/26(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 譚鑫;陳立民;陳麗芳;李賀 | 申請(專利權(quán))人 | 曲靖陽光新能源股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京華仁聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李冰 |
地址 | 655000 云南省曲靖市曲靖開發(fā)區(qū)翠峰路83號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種以帶尖籽晶為參照的單晶爐液口距測量方法,包括步驟1:在重錘下端安裝帶尖籽晶,然后將所述重錘放入主爐室內(nèi)部,獲取帶尖籽晶末端到導(dǎo)流筒下沿平面的距離;步驟2:使用CCD相機獲取所述帶尖籽晶尖端的實際像素位置圖像與所述帶尖籽晶尖端倒影的像素位置圖像,然后根據(jù)所述實際像素位置與所述帶尖籽晶尖端倒影的像素位置計算所述帶尖籽晶尖端到熔硅液面的距離;步驟3:基于所述帶尖籽晶末端到導(dǎo)流筒下沿平面的距離及所述帶尖籽晶尖端到熔硅液面的距離,計算單晶爐液口距。本發(fā)明中,通過CCD相機獲取的圖像能夠準(zhǔn)確計算液口距,消除了人為誤差,提高了液口距的準(zhǔn)確性,從而實現(xiàn)了液口距的精準(zhǔn)定位,便于單晶爐液口距的精準(zhǔn)控制。 |
