一種具有抗污染功能的氧化鋅刺柱陣列及其制備方法與應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911142686.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111153430A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111153430A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-05-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | C01G9/02;B82Y40/00;G01N27/12 | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 奚亞男;胡淑錦 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣州鈺芯瀚吉科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 佛山幫專(zhuān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 廣州鈺芯瀚吉科技有限公司 |
| 地址 | 510000 廣東省廣州市南沙區(qū)南沙街進(jìn)港大道8號(hào)1104房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種具有抗污染功能的氧化鋅刺柱陣列結(jié)構(gòu)的制備方法與應(yīng)用。本發(fā)明以柔性聚碳酸酯多孔膜為基底，通過(guò)原子層沉積、等離子體刻蝕、水熱生長(zhǎng)、二次刻蝕等步驟，構(gòu)筑了具有微納分級(jí)結(jié)構(gòu)的氧化鋅刺柱陣列，其擁有優(yōu)異的氣敏性能與良好的自清潔抗污染性能，可進(jìn)一步構(gòu)建應(yīng)用于苛刻環(huán)境的復(fù)合功能氣敏傳感器。 |
