一種晶圓載具及外延生長設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122949424.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216749857U 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN216749857U 申請公布日 2022-06-14
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡洪雨;鄭元宇;林峰;張富欽 申請（專利權(quán)）人 廈門市三安集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361100福建省廈門市同安區(qū)洪塘鎮(zhèn)民安大道753-799號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種晶圓載具及外延生長設(shè)備，包括裝設(shè)于外延生長設(shè)備腔體內(nèi)旋轉(zhuǎn)座上的底座和放置晶圓片的載盤，底座和載盤旋轉(zhuǎn)軸心位于同一直線，底座為盤狀，其下方設(shè)有卡接旋轉(zhuǎn)座用于防止載具徑向移動的凸起，其上方設(shè)有適配于載盤從上方垂直放入的容納槽，容納槽內(nèi)具有用于支撐載盤的第一臺階，載盤裝設(shè)于容納槽內(nèi)并具有一適配于晶圓片從上方垂直放入的凹槽，凹槽內(nèi)具有用于支撐晶圓片的第二臺階，載盤與底座抵接一側(cè)具有凸塊，底座與載盤抵接一側(cè)具有與凸塊配合的止轉(zhuǎn)部，以限制載盤相對于底座轉(zhuǎn)動，載盤可在旋轉(zhuǎn)座的帶動下高速穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)，載盤和底座之間不易打滑，避免持續(xù)打滑抖動造成嚴(yán)重偏移導(dǎo)致飛片，提升產(chǎn)品良率和降低生產(chǎn)成本。