一種溫度壓力一體化傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111157492.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113916287A 公開(kāi)(公告)日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113916287A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類(lèi)號(hào) G01D21/02(2006.01)I;G01D11/00(2006.01)I;G01D11/16(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 丁云;李資庭;周旭東;吳偉康 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 杭州云谷科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 林松海
地址 310052浙江省杭州市濱江區(qū)長(zhǎng)江路336號(hào)3幢1002室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種溫度壓力一體化傳感器,包括傳感器本體、第一溫度傳感器、隔離膜片、壓力傳感器、基座;所述傳感器本體的前部表面設(shè)置有隔離膜片并具有間隙,隔離膜片用于傳遞壓力信號(hào),傳感器本體的后部設(shè)置有放置壓力傳感器和基座的腔體,基座覆蓋腔體的開(kāi)口,壓力傳感器位于腔體內(nèi)且固定在基座上,傳感器本體的前部和后部之間設(shè)置有水平方向的通孔,且通孔、隔離膜片和傳感器本體之間的間隙,以及傳感器本體后部的腔體,構(gòu)成連通的引壓空間,引壓空間內(nèi)填充有液體,以便將隔離膜片上的壓力信號(hào)傳遞到壓力傳感器;所述傳感器本體設(shè)有與通孔平行的測(cè)溫孔。本發(fā)明可方便實(shí)現(xiàn)溫度和壓力的同時(shí)測(cè)量和準(zhǔn)確測(cè)量。