級聯(lián)型的低失調垂直霍爾傳感器系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110828998.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113466758A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113466758A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G01R33/07（2006.01）I;H01L43/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 歐陽忠明;郎君;田劍彪 申請（專利權）人 紹興光大芯業(yè)微電子有限公司
代理機構 上海智信專利代理有限公司 代理人 王潔
地址 312000浙江省紹興市天姥路13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種級聯(lián)型的低失調垂直霍爾傳感器系統(tǒng)，包括四個級聯(lián)霍爾單元，所述的四個級聯(lián)霍爾單元的結構完全一致，通過接觸孔引線金屬將四個級聯(lián)霍爾單元兩兩連接在一起，形成完全結構對稱的四電極垂直霍爾傳感器，其中一對級聯(lián)霍爾單元用于作為電壓或者電流輸入電極對，另外一對用于作為霍爾電壓或者霍爾電流檢測電極。采用了本發(fā)明的級聯(lián)型的低失調垂直霍爾傳感器系統(tǒng)，結構對稱，天生就有相對小的失調電壓。本發(fā)明可以有效利用旋轉電流法的優(yōu)點把失調電壓減小到傳統(tǒng)五電極垂直霍爾失調電壓的十分之一以下。本發(fā)明的采用P型覆蓋層和P型隔離環(huán)，通過器件尺寸的合理設計和仿真，提高了器件的靈敏度和噪聲隔離特性。