一種軸向溫度多梯度可控的熱場及長晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010998979.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112176396A 公開（公告）日 2021-01-05
申請公布號 CN112176396A 申請公布日 2021-01-05
分類號 C30B11/00;C30B29/36 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李輝;毛瑞川;楊茜 申請（專利權(quán)）人 南京晶升裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 211113 江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種軸向溫度多梯度可控的熱場，包括石英管、收容于石英管內(nèi)部的坩堝、圍繞石英管外圍的上線圈、圍繞石英管外圍的中線圈、圍繞石英管外圍的下線圈；所述上線圈配有跟隨上線圈移動的上紅外高溫計(jì)、中線圈配有跟隨中線圈移動的中紅外高溫計(jì)、下線圈配有跟隨下線圈移動的下紅外高溫計(jì)。紅外高溫計(jì)跟隨每區(qū)線圈移動，可以根據(jù)測得的數(shù)據(jù)，調(diào)節(jié)各感應(yīng)線圈功率大小，真正實(shí)現(xiàn)溫度梯度可調(diào)。該技術(shù)方案可控性強(qiáng)，操作方便，避免了傳統(tǒng)單扎感應(yīng)線圈帶來的溫度梯度不可調(diào)的問題。本發(fā)明還提供了具有上述熱場的長晶爐。