藍(lán)寶石單晶爐的晶體平衡提升裝置及提升方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811389677.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109306524B | 公開（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109306524B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-05 |
| 分類號(hào) | C30B29/20;C30B17/00;C30B35/00 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李輝;徐書忠;羅漢昌;王守琛;王榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京晶升裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 210000 江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石單晶爐的晶體平衡提升裝置及提升方法，包括提升部件、稱重部件、晶體生長(zhǎng)部件、彎矩平衡部件和控制單元；所述彎矩平衡部件和稱重部件分別設(shè)置于所述提升部件的兩側(cè)，彎矩平衡部件的壓力傳感器、稱重部件的稱重傳感器將實(shí)時(shí)檢測(cè)到的平衡力和晶體重量數(shù)據(jù)傳遞給控制單元，控制單元通過計(jì)算并控制流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)施加的平衡力的大小，使得提升部件受到的彎矩為控制單元預(yù)設(shè)的彎矩目標(biāo)值。該裝置能夠平衡掉大部分負(fù)載彎矩和系統(tǒng)彎矩，使得提升部件所承載的彎矩大大減小，提高了可提升晶體的重量。該提升方法在晶體提升過程中，提升部件承受彎矩值保持不變，使提升過程更加平穩(wěn)，提高了提升的精度，有利于穩(wěn)定長(zhǎng)晶。 |
