一種具有底部隔熱條的硅材料生長(zhǎng)爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922394894.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN211734534U 公開(kāi)（公告）日 2020-10-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN211734534U 申請(qǐng)公布日 2020-10-23
分類號(hào) C30B35/00;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李輝;鄭鍇;秦英謖;張熠;穆童 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京晶升裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 211113 江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種具有底部隔熱條的硅材料生長(zhǎng)爐，包括隔熱籠、坩堝、坩堝托盤(pán)、側(cè)加熱器；坩堝的底部外圍設(shè)有一個(gè)圓環(huán)狀石墨隔熱條，由于石墨材質(zhì)的高導(dǎo)熱系數(shù)，使該石墨隔熱條能夠較快帶走石墨坩堝底部熱量。在不影響晶錠質(zhì)量的情況下，加快了晶錠生長(zhǎng)速率，更有利于晶錠散熱效果，使晶錠表面生長(zhǎng)更加平整。