一種晶體稱重裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811390172.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN109338468B 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號(hào) CN109338468B 申請公布日 2021-04-06
分類號(hào) C30B29/20;C30B15/24 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李輝;王守琛;毛洪英;張熠;大衛(wèi)·肯尼斯·李斯 申請（專利權(quán)）人 南京晶升裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210000 江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于大重量級藍(lán)寶石晶體的長晶爐的晶體稱重裝置。由于現(xiàn)有的藍(lán)寶石長晶爐，普遍是將晶體稱重裝置安放于真空腔外,而與水冷式籽晶轉(zhuǎn)軸分離，其密封設(shè)計(jì)比較簡單，但稱重誤差明顯。真空腔內(nèi)外壓力變化使水冷式籽晶轉(zhuǎn)軸及稱重傳感器受額外的隨機(jī)的壓差載荷，導(dǎo)致晶體稱重出現(xiàn)隨機(jī)的不可控誤差。本發(fā)明即為解決此難題，將晶體稱重裝置安放于真空腔內(nèi)，即與長晶真空腔室直接連通，以徹底消除真空腔內(nèi)外的隨機(jī)壓差載荷對晶體稱重影響，且此裝置帶有循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，通過合理設(shè)計(jì)動(dòng)態(tài)密封的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，避免意外泄漏而污染真空腔。