一種La-Zr合金靶及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110983772.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113652658A 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號(hào) CN113652658A 申請公布日 2021-11-16
分類號(hào) C23C14/34（2006.01）I;C22C1/03（2006.01）I;C22C28/00（2006.01）I;C22C16/00（2006.01）I;C22B9/02（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周煌;黃美松;馬小波;劉維;劉華;樊玉川;郭利平;文康 申請（專利權(quán)）人 湖南稀土金屬材料研究院有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng);聶午陽
地址 410126湖南省長沙市芙蓉區(qū)隆平高科技園隆園二路108號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了La?Zr合金靶及其制備方法，包括以下步驟：將La?Mg合金鑄錠與鋯置于熔煉設(shè)備內(nèi)進(jìn)行熔煉，熔煉溫度為1700～2200℃，保溫時(shí)間為1～40min，使La?Mg合金鑄錠中所有的鎂完全揮發(fā)，制得La?Zr合金靶；其中La?Zr合金靶中鑭的重量百分比為40％～80％，鋯的重量百分比為20％～60％，La?Mg合金鑄錠中鎂的重量百分比為La?Zr合金靶中鑭與鋯總質(zhì)量的5～50％。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)熔煉方法得到的合金靶容易出現(xiàn)分層的現(xiàn)象，制得的La?Zr合金靶成分均勻、氧含量低；該方法提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。