La-Ti合金靶及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110982084.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113684456A 公開（公告）日 2021-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113684456A 申請(qǐng)公布日 2021-11-23
分類號(hào) C23C14/34;C22C1/03;C22C14/00;C22C28/00;B22D7/00 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周煌;郭利平;劉維;馬小波;黃美松;文康;劉華;趙瑞山 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南稀土金屬材料研究院有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng);聶午陽
地址 410126 湖南省長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)隆平高科技園隆園二路108號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了La?Ti合金靶及其制備方法，包括以下步驟：將La?Mg合金鑄錠與金屬鈦置于熔煉設(shè)備內(nèi)進(jìn)行熔煉，熔煉溫度為1700～2200℃，保溫時(shí)間為1～40min，使La?Mg合金鑄錠中所有的鎂完全揮發(fā)，制得La?Ti合金靶；其中La?Ti合金靶中鑭的重量百分比為20％～60％，金屬鈦的重量百分比為40％～80％，La?Mg合金鑄錠中鎂的重量百分比為L(zhǎng)a?Ti合金靶中鑭與鈦總質(zhì)量的5～50％。本發(fā)明制備得到的La?Ti合金靶成分均勻、氧含量低；該方法提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本；解決了傳統(tǒng)熔煉方法得到的合金靶容易出現(xiàn)分層的現(xiàn)象。