一種用于砷化鎵生產(chǎn)的熱場裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921364332.2 申請日 -
公開（公告）號 CN211036183U 公開（公告）日 2020-07-17
申請公布號 CN211036183U 申請公布日 2020-07-17
分類號 C30B29/42;C30B35/00 分類 -
發(fā)明人 蘭少東 申請（專利權(quán)）人 江蘇中科晶元信息材料有限公司
代理機構(gòu) 蘇州市港澄專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇中科晶元信息材料有限公司
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市塘橋鎮(zhèn)（江蘇張家港新能源產(chǎn)業(yè)園商城路）江蘇中科晶元信息材料有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于砷化鎵生產(chǎn)的熱場裝置，包括爐體、保溫筒和石墨加熱器，所述爐體內(nèi)腔設(shè)置有保溫筒，保溫筒內(nèi)壁設(shè)置有石墨加熱器,石墨加熱器內(nèi)壁設(shè)置有坩堝，坩堝底部設(shè)置有坩堝托架，坩堝托架底部設(shè)置有坩堝托桿,所述保溫筒頂端設(shè)置有導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒出口處位于坩堝內(nèi)腔，所述保溫筒底部設(shè)置有保溫板，使用時，通過啟動電機，使得收線輪轉(zhuǎn)動，從而將繩索進行收緊，從而將保溫筒升起，從而避免了動用人工將保溫筒抬起，進而節(jié)省了大量人力物力，且有效的避免了對保溫筒造成的損傷，提高了保溫筒的使用壽命，通過設(shè)置的防漏板及密封圈,有效的避免了高溫硅液泄漏接觸熱場其余組件。