一種機體內(nèi)智能隔離和潔凈設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020509037.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211857177U 公開（公告）日 2020-11-03
申請公布號 CN211857177U 申請公布日 2020-11-03
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 李占國;譚璜;徐建 申請（專利權）人 彌費科技（上海）股份有限公司
代理機構 北京匯捷知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 彌費實業(yè)（上海）有限公司
地址 201306上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)秋山路1775弄3-4號1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種機體內(nèi)智能隔離和潔凈設備，包括光刻機和電控柜，其特征在于，所述光刻機內(nèi)部主要包括風刀部件和不銹鋼管部件，電控柜內(nèi)部分別設有配電模塊、液晶顯示屏和氣控盒。本實用新型，目的是為了防止經(jīng)常加載的晶圓傳送盒會累積影響到光刻機機體內(nèi)部的溫濕度和微塵數(shù)量，提高芯片制程的良品率。本實用新型隔絕晶圓傳送盒和晶圓片對光刻機機體內(nèi)部溫濕度和微塵累積的同時，還利用負壓清潔打開門的晶圓傳送盒清潔機械臂每次吸取的晶圓片上下外表面，還會清潔機體內(nèi)部。??