一種機(jī)體內(nèi)智能隔離和潔凈設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010273049.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111427241A 公開(kāi)（公告）日 2020-07-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN111427241A 申請(qǐng)公布日 2020-07-17
分類(lèi)號(hào) G03F7/20;B08B5/02;B08B17/02 分類(lèi) -
發(fā)明人 李占國(guó);譚璜;徐建 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 彌費(fèi)科技（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 彌費(fèi)實(shí)業(yè)（上海）有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)秋山路1775弄3-4號(hào)1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)體內(nèi)智能隔離和潔凈設(shè)備，包括光刻機(jī)和電控柜，其特征在于，所述光刻機(jī)內(nèi)部主要包括風(fēng)刀部件和不銹鋼管部件，電控柜內(nèi)部分別設(shè)有配電模塊、液晶顯示屏和氣控盒。本發(fā)明，目的是為了防止經(jīng)常加載的晶圓傳送盒會(huì)累積影響到光刻機(jī)機(jī)體內(nèi)部的溫濕度和微塵數(shù)量，提高芯片制程的良品率。本發(fā)明隔絕晶圓傳送盒和晶圓片對(duì)光刻機(jī)機(jī)體內(nèi)部溫濕度和微塵累積的同時(shí)，還利用負(fù)壓清潔打開(kāi)門(mén)的晶圓傳送盒清潔機(jī)械臂每次吸取的晶圓片上下外表面，還會(huì)清潔機(jī)體內(nèi)部。