一種氮化鋁覆鋁陶瓷襯板的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110494468.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113213972A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113213972A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) C04B41/87（2006.01）I;C04B37/02（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 歐陽鵬;賀賢漢;葛荘;王斌;張進(jìn);張恩榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇富樂德半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 224200江蘇省鹽城市東臺(tái)市城東新區(qū)鴻達(dá)路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。一種氮化鋁覆鋁陶瓷襯板的制備方法，包括以下步驟：步驟一：氮化鋁陶瓷表面改性層制備，制備表面改性溶液，將氮化鋁陶瓷浸入到表面改性溶液中，充分潤濕后烘干；步驟二：表面改性層固化，將氮化鋁陶瓷置于馬弗爐中烘烤，在氮化鋁陶瓷表面形成均勻的固化改性層；步驟三：釬焊焊接，鋁合金金屬漿料制備，將漿料涂覆在具有固化改性層的氮化鋁陶瓷上，烘干，再與高純鋁箔進(jìn)行釬焊焊接，制備氮化鋁覆鋁陶瓷襯板。本發(fā)明克服了低溫鋁釬焊與氮化鋁陶瓷潤濕不良的難題，采用釬焊燒結(jié)成型，保持高純鋁面成分純度，可以大大降低制造成本，且良率高，易于操作，易于成型，可批量生產(chǎn)。