一種改善陶瓷覆銅載板高溫?zé)Y(jié)后外觀不良的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110671462.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113471081A | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請公布號(hào) | CN113471081A | 申請公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/48（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李辛未;賀賢漢;蔡俊;李炎;陽強(qiáng)俊;馬敬偉 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇富樂德半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申浩律師事務(wù)所 | 代理人 | 趙建敏 |
| 地址 | 224200江蘇省鹽城市東臺(tái)市城東新區(qū)鴻達(dá)路18號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及改善陶瓷覆銅載板高溫?zé)Y(jié)后外觀不良的方法，包括：A、微蝕，采用硫酸與過硫酸鈉混合液對陶瓷覆銅載板進(jìn)行微蝕并進(jìn)行溢流水洗，硫酸的濃度為18.4～36.8g/L，過硫酸鈉的濃度為20～40g/L；B、噴砂，采用Al2O3質(zhì)量百分比為10～20％的金剛砂懸濁液作為噴砂液，上下噴淋，噴砂角度為90°，噴砂壓力為2kg/cm，噴砂距離為8～12mm，銅基體經(jīng)過噴砂處理后平均厚度減少0.5?0.8μm；C、水洗烘干，依次采用回收水洗、溢流水洗、加壓水洗、超聲波浸洗、HF水洗、搖擺高壓水洗、加壓水洗、DI水洗、干板組合進(jìn)行水洗和烘干，冷卻后取出；D、燒結(jié)再結(jié)晶，將步驟C處理后得到的產(chǎn)品置于燒結(jié)爐內(nèi)，并通入氮?dú)夂涂諝饣旌蠚猓刂茽t內(nèi)氧分壓在8～15ppm，在1075～1083℃條件下燒結(jié)，使銅片表面再結(jié)晶。 |
