一種DPC覆銅陶瓷基板表面金屬化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110308168.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113079646A 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN113079646A 申請公布日 2021-07-06
分類號 H05K3/02（2006.01）I;H01L21/48（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 王斌;賀賢漢;葛荘;歐陽鵬;孫泉 申請（專利權(quán)）人 江蘇富樂德半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 224200江蘇省鹽城市東臺(tái)市城東新區(qū)鴻達(dá)路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種DPC覆銅陶瓷基板表面金屬化方法，A、基板前處理：對陶瓷基板進(jìn)行除油清洗、酸性微蝕、熱風(fēng)烘干；B、基板表面摩擦焊：在旋轉(zhuǎn)摩擦焊機(jī)上進(jìn)行，采用鈦合金高溫?cái)嚢桀^，在惰性氣體氣氛下，通過高速旋轉(zhuǎn)將鈦合金涂焊在基板表面。其中，旋轉(zhuǎn)摩擦焊機(jī)中軸肩直徑為10?20mm，旋轉(zhuǎn)針為直徑3?8mm帶螺紋的錐形銷，旋轉(zhuǎn)摩擦焊焊接速度為600?900mm/min，攪拌頭旋轉(zhuǎn)速度為800?1200r/min，旋轉(zhuǎn)頭傾角為1.5?5°，惰性氣體流量為200～2000mL/min；C、表面化學(xué)鍍銅：基板依次經(jīng)過硫酸鈉?硫酸腐蝕體系腐蝕、硫酸和鹽酸酸化后進(jìn)行基板貼膜，而后在硫酸銅?硫酸體系化學(xué)鍍液中表面鍍銅，并純水超聲浸洗；D、超聲清洗、烘干。