一種減少DCB產品皺皮疙瘩不良的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110284920.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113224008A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113224008A 申請公布日 2021-08-06
分類號 H01L23/14（2006.01）I;H01L23/15（2006.01）I;H01L21/48（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡俊;賀賢漢;馬敬偉;陳元華 申請（專利權）人 江蘇富樂德半導體科技有限公司
代理機構 上海申浩律師事務所 代理人 趙建敏
地址 224200江蘇省鹽城市東臺市城東新區(qū)鴻達路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種減少DCB產品皺皮疙瘩不良的方法，包括如下步驟：A、研磨：采用刷輥對帶有皺皮疙瘩的一面進行研磨，速度設置為0.8～1.0m/min，研磨量控制在7～12μm范圍內，還原原始銅片表面的光亮，而后經(jīng)純水超聲清洗去除研磨下來的異物；B、燒結再結晶：將步驟A處理后得到的產品置于燒結爐內，并通入氮氣和氧氣混合氣，在1075～1083℃條件下燒結，使銅片表面再結晶。研磨可以完全去除表面的色差，絕大多數(shù)的疙瘩皺皮缺陷，回歸原始銅表面的光潔；再結晶實現(xiàn)產品晶粒和粗糙度與正常產品相當，焊接和打線性能和正常產品相當，一定程度上提升良率，降低了產品報廢率。