厚度平面度段差檢測裝置、系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910168722.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109682310A 公開（公告）日 2019-04-26
申請公布號 CN109682310A 申請公布日 2019-04-26
分類號 G01B11/02（2006.01）I; G01B11/06（2006.01）I; G01B11/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳業(yè); 吳落得; 賀平; 李均華; 黃細剛 申請（專利權(quán)）人 深圳佳視德智能科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市深弘廣聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳佰視特光電科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道潭頭社區(qū)芙蓉路9號二期5號廠房201、101、202號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了厚度平面度段差檢測裝置、系統(tǒng)及方法，該裝置包括：工作臺；雙層移動平臺，雙層移動平臺包括第一級移動平臺和第二級移動平臺；檢測組件，檢測組件包括安裝架、第一光譜共焦檢測裝置、第二光譜共焦檢測裝置，安裝架安裝在第二級移動平臺上，第一光譜共焦檢測裝置和第二光譜共焦檢測裝置在安裝架上呈上下對射安裝，使被檢測對象位于第一光譜共焦檢測裝置和第二光譜共焦檢測裝置之間的間隙內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，不但精度高，而且便于引入存儲、分析模塊便于實現(xiàn)智能化檢測，可實現(xiàn)對任何材質(zhì)產(chǎn)品進行精準的點、線、面掃描，得到產(chǎn)品的厚度、平面度、段差。