一種連體真空鍍膜機(jī)柔性傳輸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822189361.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN209260196U 公開（公告）日 2019-08-16
申請公布號(hào) CN209260196U 申請公布日 2019-08-16
分類號(hào) C23C14/56 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙文強(qiáng);尹忠樂 申請（專利權(quán)）人 佛山市南海區(qū)晶鼎泰智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 528000 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)獅中村中西工業(yè)區(qū)梁錦平的廠房自編1號(hào)(住所申報(bào))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種連體真空鍍膜機(jī)柔性傳輸裝置，包括工件裝爐室、鍍膜室、工件出爐室、過渡區(qū)、靶材,所述工件裝爐室的一側(cè)設(shè)有所述鍍膜室，所述鍍膜室的一側(cè)設(shè)有所述工件出爐室，所述鍍膜室與所述工件裝爐室和所述工件出爐室之間均設(shè)有所述過渡區(qū)，所述工件裝爐室、所述鍍膜室和所述工件出爐室上均設(shè)有所述靶材。設(shè)備的整體運(yùn)行穩(wěn)定性大大提高；因?yàn)楣ぜ辉俸娃D(zhuǎn)架一起整體平移，只需要單桿移動(dòng)，真空室之間的過渡門尺寸就不需要那么大，只需要整體平移方式的一半大小就可以滿足。成膜效率大大提升；各位位置的靶基距都完全一致，膜層沉積速率的一致性和膜層性能，都較整體平移方式有很大改善。