一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710695440.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107267923B 公開（公告）日 2019-05-17
申請公布號 CN107267923B 申請公布日 2019-05-17
分類號 C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 應(yīng)世強; 尹忠樂; 李術(shù)杰 申請（專利權(quán)）人 佛山市南海區(qū)晶鼎泰智能科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州科粵專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 佛山市南海區(qū)晶鼎泰智能科技有限公司
地址 528200 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)獅中村貝奇科技工業(yè)園自編1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明開發(fā)了一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置，包括基座，其特征是：在基座上設(shè)有母坩堝和若干個子坩堝模塊；所述基座上預(yù)留有母坩堝安裝槽，所述母坩堝安裝在所述母坩堝安裝槽中；所述的若干個子坩堝模塊是圍繞母坩堝的外輪廓均布在基座上的；每個所述的子坩堝模塊包括子坩堝底座、子坩堝、電子槍和驅(qū)動缸；所述子坩堝底座鉸接在所述基座的表面；所述子坩堝和電子槍均固定在所述子坩堝底座表面，所述驅(qū)動缸的推桿連接在所述子坩堝的底部；所述子坩堝可相對基座在母坩堝的外周上方翻轉(zhuǎn)；每個所述的子坩堝與母坩堝之間均設(shè)有傾斜于基座的表面設(shè)置的引流槽。該發(fā)明具有制備高效、膜層均勻和人成本低等優(yōu)點。