一種高功率長波長垂直腔面發(fā)射激光器陣列及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010112797.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111293583B 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN111293583B 申請公布日 2021-06-01
分類號 H01S5/42（2006.01）I;H01S5/024（2006.01）I;H01S5/042（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張星 申請（專利權(quán)）人 長春中科長光時空光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉新雷
地址 130000吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號E305室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高功率長波長垂直腔面發(fā)射激光器列陣以及制作方法，通過采用在外延晶片上設(shè)置散熱層，在P型DBR反射鏡上沉積P面金屬散熱電極層，提高發(fā)光單元以及陣列的散熱能力，提高使用可靠性以及最大輸出功率，提高了單個發(fā)光單元的性能以及陣列性能。