一種垂直腔面發(fā)射激光器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010448876.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111564755A 公開（公告）日 2020-08-21
申請公布號 CN111564755A 申請公布日 2020-08-21
分類號 H01S5/183(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張星 申請（專利權(quán)）人 長春中科長光時空光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 長春中科長光時空光電技術(shù)有限公司
地址 130000吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號E305室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器，包括第一電極；位于第一電極上表面的襯底；位于襯底上表面的外延層，外延層包括位于襯底上表面的第一反射層和位于第一反射層上表面的臺面，且臺面的上表面具有凹透鏡表面，臺面包括由下至上依次疊加的有源層、氧化層、第二反射層；位于臺面的側(cè)面、臺面的上表面預(yù)設(shè)區(qū)域、第一反射層上表面未被臺面覆蓋區(qū)域的絕緣層；位于絕緣層外表面的第二電極。臺面表面具有凹透鏡表面，即出光窗口處具有凹透鏡表面，利用凹透鏡表面實(shí)現(xiàn)對出光范圍的拓寬，另外，凹透鏡表面直接位于垂直腔面發(fā)射激光器的出光窗口，無需額外設(shè)置光學(xué)元件，降低結(jié)構(gòu)復(fù)雜性，也不會造成體積變大。本申請還提供一種具有上述優(yōu)點(diǎn)的制作方法。??