一種垂直腔面發(fā)射激光器、列陣及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010112798.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111293585B 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN111293585B 申請公布日 2021-08-17
分類號 H01S5/183;H01S5/323 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張星 申請（專利權(quán)）人 長春中科長光時空光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉新雷
地址 130000 吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號E305室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器、陣列以及制作方法，垂直腔面發(fā)射激光器制作方法。將泵浦光源插入發(fā)射光源諧振腔中，利用GaAs材料實現(xiàn)短波800nm至1100nm的泵浦光發(fā)射，泵浦光水平振蕩；垂直耦合器結(jié)構(gòu)，具備將泵浦光耦合至垂直表面輸出及釋放InP緩沖層在GaAs上異質(zhì)外延過程中的晶格失配應(yīng)力兩個方面的作用，從結(jié)構(gòu)上完全避免了傳統(tǒng)的InP基長波長垂直腔面發(fā)射激光器面臨的DBR反射鏡折射率差小、熱阻大、缺乏有效的光電限制結(jié)構(gòu)，P型InP層電阻較大、發(fā)熱嚴重等問題，提高了器件的性能以及可靠性。