一種圖像傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011619502.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112864181A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112864181A 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L27/146(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王欣洋;馬成;姜濤 申請（專利權(quán)）人 長春長光辰芯微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長春中科長光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高一明;郭婷
地址 130033吉林省長春市經(jīng)開區(qū)營口路588號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種圖像傳感器的制造方法，包括：在半導(dǎo)體襯底上依次形成氧化物薄膜層和氮化物薄膜層；在所述半導(dǎo)體襯底、所述氧化物薄膜層和所述氮化物薄膜層中形成溝道；在溝道的側(cè)壁上形成N型離子摻雜區(qū)；在所述N型離子摻雜區(qū)的側(cè)壁上形成P型離子摻雜區(qū)，且所述P型離子摻雜區(qū)的深度比所述N型離子摻雜區(qū)的深度深；沉積所述氧化物薄膜層。本發(fā)明還提供了一種圖像傳感器。通過本發(fā)明的圖像傳感器的制造方法，減少了光產(chǎn)生的電子消失的情況，同時(shí)還避免了將電子傳輸?shù)綎艠O。??