用于連續(xù)生長碳納米管陣列的卷對卷化學(xué)氣相沉積裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021176694.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212769880U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請公布號(hào) | CN212769880U | 申請公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號(hào) | C01B32/164(2017.01)I | 分類 | 無機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 威廉·愛爾蘭·米爾恩;駱季奎;汪小知 | 申請（專利權(quán)）人 | 杭州英希捷科技有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 沈相權(quán) |
| 地址 | 311215浙江省杭州市蕭山區(qū)蕭山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)啟迪路198號(hào)C座1303室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了用于連續(xù)生長碳納米管陣列的卷對卷化學(xué)氣相沉積裝置，包括真空箱，所述真空箱內(nèi)腔底部的兩側(cè)活動(dòng)連接有卷出輥，所述真空箱內(nèi)腔的頂部和底部之間活動(dòng)連接有張力調(diào)節(jié)組件，張力調(diào)節(jié)組件包括兩個(gè)活動(dòng)輥，兩個(gè)活動(dòng)輥的頂部和底部均固定連接有固定板，真空箱的頂部固定連接有密封件，密封件的底部貫穿真空箱并延伸至真空箱的內(nèi)部，本實(shí)用新型涉及碳納米管技術(shù)領(lǐng)域。該用于連續(xù)生長碳納米管陣列的卷對卷化學(xué)氣相沉積裝置，通過在活動(dòng)輥的頂部和底部設(shè)置固定板，配合轉(zhuǎn)動(dòng)套內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng)桿和調(diào)節(jié)桿，再利用固定板的轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)系，能夠?qū)顒?dòng)輥的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而能夠?qū)埩M(jìn)行控制，此結(jié)構(gòu)較為簡單，操作方便，易于推廣。?? |
