一種靶材綁定用靶管金屬化裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921738190.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210711720U | 公開（公告）日 | 2020-06-09 |
| 申請公布號 | CN210711720U | 申請公布日 | 2020-06-09 |
| 分類號 | C23C14/34(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 陳標(biāo);劉所心;馬超寧;段宇龍 | 申請（專利權(quán)）人 | 洛陽晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 柳州市榮久專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 韋微 |
| 地址 | 471100河南省洛陽市洛陽空港產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)隆華大道66號（洛陽市孟津縣麻屯鎮(zhèn)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種靶材綁定用靶管金屬化裝置，包括超聲波發(fā)生器和電機(jī)，還包括有旋轉(zhuǎn)套、外加熱套、絲桿和滑套，所述外加熱套連接在旋轉(zhuǎn)套內(nèi)，所述電機(jī)包括用于帶動旋轉(zhuǎn)套旋轉(zhuǎn)的電機(jī)Ⅰ和用于帶動絲桿旋轉(zhuǎn)的電機(jī)Ⅱ，所述絲桿位于外加熱套內(nèi)，絲桿一端通過軸承安裝在旋轉(zhuǎn)套上，另一端通過連接件與電機(jī)Ⅱ的轉(zhuǎn)軸連接，所述滑套套裝在絲桿上，滑套與絲桿通過螺紋連接，所述超聲波發(fā)生器通過連桿連接在滑套的下方；所述旋轉(zhuǎn)套通過連接套與電機(jī)Ⅰ的轉(zhuǎn)軸連接。本實(shí)用新型涂銦厚度一致，自動化水平高，有效解決了人工涂銦方式中存在的涂銦不均勻，工人勞動強(qiáng)度大，對工人熟練程度要求高的情況，從而有效的提高工作效率，提高靶材綁定貼合率以及貼合強(qiáng)度。?? |
