一種ITO旋轉(zhuǎn)靶材成型外圓固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122788203.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216473456U 公開(kāi)（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN216473456U 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) C23C14/34（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張啟華;于林林;代立鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)公信聯(lián)創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 471000河南省洛陽(yáng)市洛陽(yáng)空港產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)隆華大道66號(hào)（洛陽(yáng)市孟津縣麻屯鎮(zhèn)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種ITO旋轉(zhuǎn)靶材成型外圓固定裝置，包括：第一固定套和多個(gè)第二固定套，第一固定套由兩個(gè)第一半圓殼體通過(guò)第一連接件對(duì)接而成，第一半圓殼體外側(cè)豎直設(shè)有多個(gè)第一固定桿，第一固定桿通過(guò)連接桿與第一半圓殼體外壁連接，第一固定桿下端設(shè)有支撐座，多個(gè)第二固定套從上到下依次設(shè)置在第一固定套上端，第二固定套與第一固定套內(nèi)徑相同，第二固定套由兩個(gè)第二半圓殼體通過(guò)第二連接件對(duì)接而成。本申請(qǐng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作容易，能夠提高超長(zhǎng)的ITO旋轉(zhuǎn)靶材成型粉料填充的均勻性。