一種靶材綁定用靶管加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122882529.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216491108U 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN216491108U 申請公布日 2022-05-10
分類號 H05B3/06（2006.01）I;H05B1/00（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 劉所心;馬超寧;于林林;楊興偉;楊元虎;史向陽 申請（專利權(quán)）人 洛陽晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽公信聯(lián)創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 471000河南省洛陽市洛陽空港產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)隆華大道66號（洛陽市孟津縣麻屯鎮(zhèn)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種靶材綁定用靶管加熱裝置，包括：底座、固定套、三個溫度傳感器和三個溫度控制器，固定套豎直設(shè)置在底座上，固定套外壁上從上到下依次間隔有上加熱組件、中加熱組件和下加熱組件，三個溫度傳感器從上到下依次間隔設(shè)置在固定套外壁上，用于分別檢測上加熱組件、中加熱組件和下加熱組件的溫度；三個溫度控制器分別與上加熱組件、中加熱組件和下加熱組件電性連接，三個溫度控制器分別與三個溫度傳感器電性連接。本申請結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，不容易出現(xiàn)破損，不影響生產(chǎn)的連續(xù)性，靶管表面溫度均勻性好。