一種ITO靶材解綁裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920475130.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209957865U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-01-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209957865U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-01-17 |
| 分類號(hào) | C22B7/00;C22B58/00;C23C14/34 | 分類 | 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理; |
| 發(fā)明人 | 姚遠(yuǎn);杜寶珩;郭朋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 洛陽(yáng)晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 柳州市榮久專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 韋微 |
| 地址 | 471100 河南省洛陽(yáng)市洛陽(yáng)空港產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)隆華大道66號(hào)（洛陽(yáng)市孟津縣麻屯鎮(zhèn)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種ITO靶材解綁裝置，包括工作平臺(tái)、二甲基硅油油浴裝置、靶材支撐架、背板支撐架、刮銦板和背板夾持器，所述二甲基硅油油浴裝置安裝在工作平臺(tái)上，靶材支撐架和背板支撐架安裝在二甲基硅油油浴裝置內(nèi)，二甲基硅油油浴裝置相對(duì)的兩側(cè)邊緣頂端分別設(shè)置有滑道，刮銦板活動(dòng)安裝在其中一個(gè)滑道內(nèi)，背板夾持器活動(dòng)安裝在另一個(gè)滑道內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：使用二甲基硅油對(duì)殘靶各面進(jìn)行加熱，使焊料層（銦層）逐漸融化，從而使ITO靶材與銅背板脫離，此解綁方式一方面可以保證ITO殘靶的完整性；另一方面，使貴重金屬銦能夠得到回收，一定程度上節(jié)約了生產(chǎn)成本，同時(shí)過(guò)濾后的二甲基硅油也可以重復(fù)再利用。 |
