一種刻蝕機(jī)裝片治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021873313.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN212934587U 公開(kāi)（公告）日 2021-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN212934587U 申請(qǐng)公布日 2021-04-09
分類(lèi)號(hào) H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱偉明;彭艷亮;陳亮;閆仕波;史偉言;李昌勛;劉建哲;徐良 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖眾匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000 安徽省黃山市黃山九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種刻蝕機(jī)裝片治具，包括操作臺(tái)，固定設(shè)置在操作臺(tái)上的支撐框，所述支撐框上設(shè)置有可翻轉(zhuǎn)的裝片托盤(pán)定位框，托盤(pán)定位框上設(shè)置有可打開(kāi)的用于壓緊晶片的上蓋，還設(shè)置有可上下移動(dòng)的支撐底托，支撐底托作用在裝片托盤(pán)上且可轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)晶片的快速定位安裝，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，裝配穩(wěn)定性好，可廣泛應(yīng)用于刻蝕機(jī)晶片定位安裝領(lǐng)域。