一種刻蝕機(jī)線圈調(diào)整結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022293567.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213691956U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213691956U 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/20（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱偉明;陳亮;史偉言;徐良;劉建哲;李京波 申請（專利權(quán)）人 黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖眾匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黃山市屯溪區(qū)九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種刻蝕機(jī)線圈調(diào)整結(jié)構(gòu)，包括刻蝕機(jī)工作臺，設(shè)置在刻蝕機(jī)工作臺上的線圈；所述線圈在刻蝕機(jī)工作臺上呈開口環(huán)狀布置，所述刻蝕機(jī)工作臺上沿圓周方向設(shè)置有一圈可沿刻蝕機(jī)工作臺半徑方向前后移動的調(diào)整桿，所述線圈靠壓在調(diào)整桿的內(nèi)側(cè)面上，所述刻蝕機(jī)工作臺位于每個調(diào)整桿的一側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)座，所述調(diào)節(jié)座上設(shè)置有轉(zhuǎn)動絲桿，所述調(diào)整桿上設(shè)置有與轉(zhuǎn)動絲桿相適配的絲桿螺母。本實用新型能夠準(zhǔn)確對線圈的位置進(jìn)行調(diào)整，且調(diào)整方便，準(zhǔn)確度高，可廣泛應(yīng)用于刻蝕機(jī)線圈調(diào)整領(lǐng)域。