一種LED圖形化襯底用全自動目檢機載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023202339.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213519911U 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN213519911U 申請公布日 2021-06-22
分類號 H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/22（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱偉明;李強;周世和;劉建哲;張磊;祝小林;史偉言;李昌勛 申請（專利權(quán)）人 黃山博藍特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 蕪湖眾匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黃山市屯溪區(qū)九龍低碳經(jīng)濟園區(qū)翠薇北路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種LED圖形化襯底用全自動目檢機載臺，包括載臺本體，設(shè)置在載臺本體上的一組真空孔；所述載臺本體上設(shè)置有一組可上下移動的支撐柱，還設(shè)置有一組呈放射性延伸的限位調(diào)節(jié)槽，每個限位調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有一個可在限位調(diào)節(jié)槽內(nèi)來回移動的限位圓臺。本實用新型能夠保證晶片放置在載臺上的位置準確性，同時，能夠保證在工作和移動時晶片不會偏移，并保證載臺和晶片的清潔性，可廣泛應(yīng)用于LED襯底制造技術(shù)領(lǐng)域。