一種高內(nèi)量子效率的綠光LED磊晶結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021779199.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213692084U 公開(kāi)(公告)日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN213692084U 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) H01L33/12(2010.01)I;H01L33/04(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐良;劉建哲;李昌勛;陳雷;蔣陽(yáng);李京波 申請(qǐng)(專利權(quán))人 黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖眾匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 曹宏筠
地址 245000安徽省黃山市黃山九龍低碳經(jīng)濟(jì)園區(qū)翠薇北路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高內(nèi)量子效率的綠光LED磊晶結(jié)構(gòu),包括襯底,依次疊加設(shè)置在襯底上的AlN緩沖層、缺陷湮滅層、u?GaN層、N?GaN層、發(fā)光層、電子阻擋層和P?GaN層;所述缺陷湮滅層由若干對(duì)交替堆疊的AlN/GaN組成。所述AlN/GaN的周期重復(fù)數(shù)大于10,所述AlN的厚度為2~10nm,GaN的厚度為15~30nm。本實(shí)用新型在現(xiàn)有結(jié)構(gòu)上增加了缺陷湮滅層,缺陷湮滅層采用AlN/GaN交替堆疊的結(jié)構(gòu)能夠?qū)lN緩沖層未阻擋掉的缺陷(缺陷密度約10cm)進(jìn)一步進(jìn)行降低。缺陷延伸到缺陷湮滅層的超晶格界面處會(huì)發(fā)生轉(zhuǎn)向和湮滅,多周期交替生長(zhǎng)的結(jié)構(gòu)能夠?qū)⑷毕菝芏冉档偷?0/cm量級(jí)??蓮V泛應(yīng)用于綠光LED磊晶領(lǐng)域。