鄰重氮萘醌正性光致抗蝕劑的生產(chǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711293852.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108241261A 公開（公告）日 2018-07-03
申請公布號 CN108241261A 申請公布日 2018-07-03
分類號 G03F7/039;G03F7/022;C08G8/12;C07C303/02;C07C309/88 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 彭響亮 申請（專利權(quán)）人 成都盛金緣餐飲文化傳播有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 610041 四川省成都市高新區(qū)天府大道中段177號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 鄰重氮萘醌正性光致抗蝕劑的生產(chǎn)裝置，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反應(yīng)釜(D103)、溶解釜(D104)、脫水精制(D105)、反應(yīng)釜(D106)、粗濾器(L101)、精濾器(L102)、儲罐(F101～F106)、泵(J101～J106)，其中，反應(yīng)釜(D103)分別與重氮化釜(D102)、溶解釜(D104)相連接，泵(J103)分別與儲罐(F103)、重氮化釜(D102)相連接，其中，反應(yīng)釜(D103)公稱容積700?800L。