航天火工分離用石墨烯二硫化鉬多層耐磨涂層及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810996787.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109136924B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN109136924B 申請(qǐng)公布日 2021-08-17
分類號(hào) C23C28/04;C23C14/58;C23C16/56 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王賀;易培云;黎煥明;彭林法;來(lái)新民 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 首都航天機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔣亮珠
地址 100076 北京市豐臺(tái)區(qū)南苑警備東路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種航天火工分離用石墨烯二硫化鉬多層耐磨涂層及其制備方法，該涂層包括基底上的多層交替涂層，多層交替涂層由若干個(gè)涂層單元組成，每個(gè)涂層單元由一層二硫化鉬層(3)和一層石墨烯層(4)交替沉積而成，其中每個(gè)涂層單元內(nèi)二硫化鉬層的厚度為0.65?100nm，石墨烯層的厚度為0.34?20nm，涂層總厚度為10?2000nm。涂層制備過(guò)程包括：基底的預(yù)處理；多層涂層的沉積；涂層的后處理。其中沉積涂層單元時(shí)進(jìn)行金屬、非金屬摻雜，或在沉積每?jī)蓚€(gè)涂層單元之間引入稀有氣體進(jìn)行刻蝕。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明涂層結(jié)合兩種材料的摩擦磨損性能，通過(guò)沉積工藝調(diào)整增加涂層的致密性，制備出具有優(yōu)異耐磨性能的多層交替涂層，可作為航天火工分離裝置的固體潤(rùn)滑涂層。