SS-OCT間距測量中利用伺服系統(tǒng)諧振消鏡像的方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910644820.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110530276B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN110530276B 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01B11/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 史國華;王俊翔;馮長有;邢利娜;王冬月;潘道偉;樊金宇 申請（專利權）人 長春奧普光電技術股份有限公司
代理機構 北京遠大卓悅知識產權代理有限公司 代理人 韓飛
地址 215163 江蘇省蘇州市高新區(qū)科技城科靈路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種SS?OCT間距測量中利用伺服系統(tǒng)諧振消鏡像的方法及其系統(tǒng)，本發(fā)明的方法利用伺服電機引起的諧振產生相位的正弦振動，并結合一種任意相位的消鏡像算法實現(xiàn)了鏡像消除。本發(fā)明的系統(tǒng)包括掃頻光源、環(huán)形器、波分復用器、光纖耦合器、參考臂、樣品臂、光電探測器、數(shù)據(jù)采集設備及電子計算機；所述光纖耦合器為50/50耦合器。所述參考臂包括第一準直器、平面鏡及伺服電機系統(tǒng)，伺服電機系統(tǒng)包括伺服電機和傳動裝置，所述伺服電機通過所述傳動裝置帶動所述平面鏡移動及產生相位振蕩。本發(fā)明不需要在系統(tǒng)中引入額外的PZT，大幅度減少了系統(tǒng)的成本和復雜度，且消鏡像結果穩(wěn)定，成倍增加了系統(tǒng)單次測量量程。