層間偏移測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220437854.2 申請日 -
公開（公告）號 CN202836496U 公開（公告）日 2013-03-27
申請公布號 CN202836496U 申請公布日 2013-03-27
分類號 G01B7/02(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鐘強;呂明 申請（專利權）人 瀚宇博德科技（江陰）有限公司
代理機構 江陰市同盛專利事務所 代理人 唐紉蘭
地址 214434 江蘇省無錫市江陰市開發(fā)區(qū)澄江東路97號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種層間偏移測量裝置，其至少包含有：設于待測物上之對位靶標（10）、至少一測試探針（20）、一接地探針（30）、一輸入電壓（50）、一電壓偵測模塊（60）以及一顯示模塊（70），該對位靶標（10）設有與該待測物相對應之復數層體，各層體于該對位靶標處設有導電層（12），該對位靶標于導電層處設有至少一鍍通孔以及一接地孔（137），該導電層系與該接地孔接觸，而與該鍍通孔隔離相對，該測試探針系可伸入接觸對應之鍍通孔，該接地探針系可伸入接觸對應之接地孔，該電壓偵測模塊系與測試探針形成電性連接，該輸入電壓系與該接地探針形成電性連接，若其中有層體產生偏移，可由該電壓偵測模塊測得而將結果直接顯示于顯示模塊上，以判斷此待測物為良品或瑕疵品。