濕法剝離導(dǎo)流機(jī)構(gòu)和濕法剝離裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123456413.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216980505U | 公開（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216980505U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-15 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 袁曉峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215300江蘇省蘇州市昆山市高新區(qū)晨豐路18號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種濕法剝離導(dǎo)流機(jī)構(gòu)和濕法剝離裝置，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該濕法剝離導(dǎo)流機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)流盤和導(dǎo)流管道，導(dǎo)流盤用于設(shè)置在填充有溶解液的液槽中，并位于圓片的一側(cè)，且導(dǎo)流盤上開設(shè)有多個(gè)導(dǎo)流孔，導(dǎo)流管道與多個(gè)導(dǎo)流孔連接，并用于部分伸出液槽，以使圓片和導(dǎo)流盤之間的溶解液經(jīng)由導(dǎo)流管道排出。在實(shí)際進(jìn)行濕法剝離時(shí)，圓片放置在液槽中，同時(shí)導(dǎo)流盤設(shè)置在圓片的一側(cè)，圓片周圍的溶解液朝向?qū)Я鞅P的方向加速流動(dòng)，使得溶解液與光刻膠的混合溶解速度加快，加快濕法剝離進(jìn)程，同時(shí)由于溶解液的流動(dòng)有方向性，金屬薄膜被剝離后會(huì)往導(dǎo)流盤上靠近，不會(huì)反向粘至圓片表面，避免造成金屬殘留缺陷。 |
