一種快速測量多晶硅中微量硼雜質的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410014232.2 申請日 -
公開（公告）號 CN103760218B 公開（公告）日 2015-10-28
申請公布號 CN103760218B 申請公布日 2015-10-28
分類號 G01N27/62(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王曉艷;楊鳳炳;李偉生;龔炳生 申請（專利權）人 福建上杭興恒硅品有限責任公司
代理機構 北京元中知識產權代理有限責任公司 代理人 福建興朝陽硅材料股份有限公司
地址 364211 福建省龍巖市上杭縣南陽鎮(zhèn)射山村富坑湖洋塘背路1-2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種快速測量多晶硅中微量硼雜質的方法。包括：稱取多晶硅樣品試樣；向試樣中加入甘露醇溶液；再向試樣中加入碳酸鉀溶液；然后加入氫氟酸，再緩慢滴入硝酸進行酸化溶解；待試樣溶解后，加熱至白煙冒盡，停止加熱；向試樣中加入鹽酸浸泡，再用少量的純水稀釋，冷卻；待冷卻后，向溶液中加入甲醇，搖勻，定容；定容后，用氨水和純水分別沖洗ICP-MS；待ICP-MS沖洗完成，將定容后的溶液試樣采用ICP-MS檢測，即可精確測量出樣品的硼含量。本方法工藝簡單，成本低，測量精確、能快速測量多晶硅中硼的含量。