一種用于ITO靶材冷壓固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822035850.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210758405U 公開（公告）日 2020-06-16
申請公布號 CN210758405U 申請公布日 2020-06-16
分類號 B28B17/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張玲莉;那嘉;周傳水;余永強;李雋;柯尚文;康明鋒;董永亮;范家偉 申請（專利權）人 廣東凱盛光伏技術研究院有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于ITO靶材冷壓固定裝置，包括用于將ITO靶材上下夾緊的固定板，所述固定板側邊設有固定凹槽，所述固定板上均勻排布有透壓圓孔；在使用時將兩塊采用PVC材料的固定板分別放置于已密封包裝好的ITO靶材的上方和下方，然后用皮筋夾緊夾穩(wěn)，使其連成一體；再將其一齊放入冷壓缸中加純水進行冷壓，透壓圓孔在讓冷壓過程中，使水可以自由均勻地從固定板中穿過，進而將壓力均勻地傳遞到待壓ITO靶材，從而不影響冷壓的效果；可使靶材結構完整性得到了很好的保護，外觀上沒有明顯裂紋，靶材亦未出現進水現象；可大大地提高ITO靶材加工后結構的完整性，為進一步的加工帶來更大的便利。??