一種用于ITO靶材冷壓固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822035850.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN210758405U 公開(kāi)(公告)日 2020-06-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN210758405U 申請(qǐng)公布日 2020-06-16
分類號(hào) B28B17/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張玲莉;那嘉;周傳水;余永強(qiáng);李雋;柯尚文;康明鋒;董永亮;范家偉 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137廣東省佛山市三水區(qū)樂(lè)平鎮(zhèn)齊力大道南5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于ITO靶材冷壓固定裝置,包括用于將ITO靶材上下夾緊的固定板,所述固定板側(cè)邊設(shè)有固定凹槽,所述固定板上均勻排布有透壓圓孔;在使用時(shí)將兩塊采用PVC材料的固定板分別放置于已密封包裝好的ITO靶材的上方和下方,然后用皮筋?yuàn)A緊夾穩(wěn),使其連成一體;再將其一齊放入冷壓缸中加純水進(jìn)行冷壓,透壓圓孔在讓冷壓過(guò)程中,使水可以自由均勻地從固定板中穿過(guò),進(jìn)而將壓力均勻地傳遞到待壓ITO靶材,從而不影響冷壓的效果;可使靶材結(jié)構(gòu)完整性得到了很好的保護(hù),外觀上沒(méi)有明顯裂紋,靶材亦未出現(xiàn)進(jìn)水現(xiàn)象;可大大地提高ITO靶材加工后結(jié)構(gòu)的完整性,為進(jìn)一步的加工帶來(lái)更大的便利。??