ITO平面靶材清洗固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021675947.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213613021U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213613021U 申請公布日 2021-07-06
分類號 B08B3/12;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 柯尚文;周傳水;李雋;余永強 申請（專利權）人 廣東凱盛光伏技術研究院有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 薛建強
地址 528137 廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種ITO平面靶材清洗固定裝置，包括側板、固定架、底桿；所述側板采用兩片且分列于兩側，所述側板上部設有手提孔；本清洗固定裝置使用時,將板狀的ITO平面靶材的一端從上固定架的兩根相鄰的縱桿之間插入，再插入下固定架的兩根相鄰的縱桿之間，裝載完畢后，通過手提孔，將裝載有ITO平面靶材的本清洗固定裝置放進超聲清洗池中，浸沒在清洗介質中進行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面無油漬無粉塵，無崩角，無開裂。