一種用于ITO平面靶材清洗防碰撞裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920951198.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210754110U 公開（公告）日 2020-06-16
申請公布號 CN210754110U 申請公布日 2020-06-16
分類號 B08B3/12(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 柯尚文;周傳水;李雋;余永強(qiáng);康明鋒;董永亮;范家偉 申請（專利權(quán)）人 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于ITO平面靶材清洗防碰撞裝置，將第一隔板嵌入長方體容器的兩條相對應(yīng)的凹槽內(nèi)，使其平行長方體容器側(cè)面。然后將第二隔板嵌入相鄰兩個第一隔板上的凹槽內(nèi)，使其平行于長方體容器的前后面；由此將長方體容器內(nèi)部空間分割成若干個小的長方體槽，最后將批量ITO平面靶材放入小長方體槽中，再把本裝置浸沒在清洗池內(nèi)，進(jìn)行超聲清洗。完成超聲清洗后，靶材沒有發(fā)生碰撞而崩角或開裂現(xiàn)象，靶材表面潔凈。??