一種脫脂-燒結(jié)一體式生產(chǎn)ITO靶材的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810653327.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108863343A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN108863343A 申請公布日 2021-06-08
分類號 C04B35/453;C04B35/457;C04B35/622 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 周傳水;彭壽;馬立云;那嘉;向光;張玲莉;余永強;柯尚文;李雋;康明鋒;范加偉;董永亮 申請（專利權(quán)）人 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137 廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種脫脂?燒結(jié)一體式生產(chǎn)ITO靶材的方法，包括以下步驟：1）將ITO粉體、分散劑和水混合，進行球磨，再加入粘結(jié)劑，進行超聲和真空脫泡，得到漿料；2）將漿料注入模具，進行成型，得到靶坯，脫模，對靶坯進行干燥；3）將靶坯放在脫脂?燒結(jié)一體式爐內(nèi)的承燒板上，進行程序升溫和程序降溫，得到ITO靶材。本發(fā)明在進行靶坯致密化的過程中，將靶坯從脫脂的最高溫度直接升溫進行溫度更高的燒結(jié)，省略了靶坯脫脂后的冷卻、轉(zhuǎn)移和再升溫過程，脫脂和燒結(jié)的效率顯著提高，且消除了靶坯在脫脂爐和燒結(jié)爐之間轉(zhuǎn)移而造成的開裂，提高了生產(chǎn)效益，有利于ITO靶材的大批量生產(chǎn)。