一種脫脂-燒結(jié)一體式生產(chǎn)ITO靶材的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810653327.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108863343A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN108863343A 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類(lèi)號(hào) C04B35/453;C04B35/457;C04B35/622 分類(lèi) 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 周傳水;彭壽;馬立云;那嘉;向光;張玲莉;余永強(qiáng);柯尚文;李雋;康明鋒;范加偉;董永亮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東凱盛光伏技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 左恒峰
地址 528137 廣東省佛山市三水區(qū)樂(lè)平鎮(zhèn)齊力大道南5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種脫脂?燒結(jié)一體式生產(chǎn)ITO靶材的方法，包括以下步驟：1）將ITO粉體、分散劑和水混合，進(jìn)行球磨，再加入粘結(jié)劑，進(jìn)行超聲和真空脫泡，得到漿料；2）將漿料注入模具，進(jìn)行成型，得到靶坯，脫模，對(duì)靶坯進(jìn)行干燥；3）將靶坯放在脫脂?燒結(jié)一體式爐內(nèi)的承燒板上，進(jìn)行程序升溫和程序降溫，得到ITO靶材。本發(fā)明在進(jìn)行靶坯致密化的過(guò)程中，將靶坯從脫脂的最高溫度直接升溫進(jìn)行溫度更高的燒結(jié)，省略了靶坯脫脂后的冷卻、轉(zhuǎn)移和再升溫過(guò)程，脫脂和燒結(jié)的效率顯著提高，且消除了靶坯在脫脂爐和燒結(jié)爐之間轉(zhuǎn)移而造成的開(kāi)裂，提高了生產(chǎn)效益，有利于ITO靶材的大批量生產(chǎn)。