一種控制柔性線路板批次線寬差異的曝光方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911044561.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110750036B 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN110750036B 申請公布日 2022-05-10
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 葉新智;楊潔;孫彬;沈洪;李曉華 申請（專利權）人 江蘇上達半導體有限公司
代理機構 徐州市三聯(lián)專利事務所 代理人 -
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經濟開發(fā)區(qū)遼河路北側、華山路西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種控制柔性線路板批次線寬差異的曝光方法，包括以下步驟：1柔性線路板通過曝光裝置時，由米數(shù)計數(shù)器計算通過的長度；2當柔性線路板通過設定的長度數(shù)值時，米數(shù)計數(shù)器將此信號反饋給主控制器；3主控制器經過處理生成新的信號傳遞給曝光能量控制器；4曝光能量控制器接收到來自所述主控制器的信號后，控制柔性線路板下一階段長度的曝光光量；5循環(huán)步驟1至4，直至完成全部柔性線路板曝光工作。本發(fā)明通過控制曝光能量來減弱光刻膠擴散，從而控制因曝光到顯影時間不同而產生的線路偏差。