壓力傳感器單元以及多維壓力傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011406316.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112563405B 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN112563405B 申請公布日 2021-08-31
分類號 H01L41/113;H01L41/047;H01L41/22;H01L41/29;H01L27/20;G01L1/20;G01L9/06 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊睿峰;曾懷望;焦文龍;王淼;李嗣晗 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)合微電子中心有限責任公司
代理機構(gòu) 北京市漢坤律師事務(wù)所 代理人 初媛媛;吳麗麗
地址 401332 重慶市沙坪壩區(qū)西園一路28號附2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種壓力傳感器單元以及多維壓力傳感器及其制造方法。該壓力傳感器單元包括：底電極；底電極引線，與底電極電連接；壓電材料層；頂電極；頂電極引線，與頂電極電連接，其中，底電極、壓電材料層和頂電極沿著壓電材料層的敏感軸方向順序堆疊，以用于感測敏感軸方向上的壓力，并且其中，底電極引線和頂電極引線之一包括電阻分段和引線分段，電阻分段充當電阻式傳感器，用于感測電阻分段的長度方向上的壓力。