陣列波導(dǎo)光柵及其校準(zhǔn)系統(tǒng)、校準(zhǔn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110366418.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113093329A 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN113093329A 申請公布日 2021-07-09
分類號 G02B6/12（2006.01）I;G01M11/00（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 路侑錫;金里;馮俊波;曹國威;張業(yè)斌 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)合微電子中心有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫佳胤
地址 401332重慶市沙坪壩區(qū)西園一路28號附2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種陣列波導(dǎo)光柵及其校準(zhǔn)系統(tǒng)、校準(zhǔn)方法，所述陣列波導(dǎo)光柵包括：光輸入模塊；陣列波導(dǎo)，連接所述光輸入模塊，將輸入光在陣列波導(dǎo)輸出端形成一個光柵陣列；移相器陣列，所述移相器陣列位于所述陣列波導(dǎo)上，用于分別調(diào)節(jié)陣列波導(dǎo)里面每一個通道光的相位；一輸出模塊，連接所述陣列波導(dǎo)，用于輸出光波。本發(fā)明通過加入移相器陣列解決了陣列波導(dǎo)光柵由于制造工藝的原因所造成的相位噪聲所帶來的中心頻率和通道間隔離度不符合設(shè)計的問題，實現(xiàn)了陣列波導(dǎo)光柵的陣列波導(dǎo)的相位可調(diào)，降低通道間的串?dāng)_，提升了陣列波導(dǎo)光柵的性能。