CMOS圖像傳感器、干涉型濾光片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110343446.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113093322A 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN113093322A 申請公布日 2021-07-09
分類號 G02B5/28（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I;H04N5/374（2011.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 袁愷;陳世杰 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)合微電子中心有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北匯律師事務(wù)所 代理人 馬亞坤
地址 401332重慶市沙坪壩區(qū)西園一路28號附2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種CMOS圖像傳感器、干涉型濾光片及其制備方法，其中，該干涉型濾光包括：第一材料層，波長調(diào)節(jié)層，第二材料層；干涉型濾光片底層設(shè)置有第一材料層；該第一材料層上方設(shè)置有波長調(diào)節(jié)層，該波長調(diào)節(jié)層用于抑制由于光的入射角不同產(chǎn)生的波長藍(lán)移；該波長調(diào)節(jié)層上方設(shè)置有第二材料層。解決了現(xiàn)有技術(shù)中在CMOS圖像傳感器的邊緣部分，透過波長發(fā)生明顯的藍(lán)移的問題，進(jìn)而提高了多波段成像質(zhì)量。