一種半導體研磨廢水處理裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110328461.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113045046A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113045046A 申請公布日 2021-06-29
分類號 C02F9/04;B01D46/00;B01D46/12;B01D53/04 分類 水、廢水、污水或污泥的處理;
發(fā)明人 殷澤安 申請（專利權(quán)）人 東莞市譯碼半導體有限公司
代理機構(gòu) 深圳華奇信諾專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陳子勛
地址 330000 江西省南昌市小藍經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)金沙大道以東、迎富大道以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明為一種半導體研磨廢水處理裝置及方法，包括廢水收集池、廢水處理罐、壓濾機和濾餅回收裝置，該半導體研磨廢水處理方法，廢水收集池內(nèi)的廢水經(jīng)過廢水處理罐上的攪拌裝置攪拌均勻，充分反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)生的氣體經(jīng)過氣體過濾裝置過濾，器體過濾裝置方便對廢氣進行異味吸附，殺菌消毒，反應(yīng)后的廢水進入壓濾機內(nèi)進行壓濾，方便將可回收物質(zhì)壓成濾餅方便回收，經(jīng)過取樣檢測器檢測，壓濾機內(nèi)液體檢測合格從第二出料管排入清水池，壓濾機內(nèi)液體檢測不合格從第一出料管返回廢水收集池進行二次廢水處理，濾餅經(jīng)過濾餅回收裝置回收，方便運輸。