一種WAFER減薄機專用進(jìn)出料提籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821567593.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208908216U 公開（公告）日 2019-05-28
申請公布號 CN208908216U 申請公布日 2019-05-28
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 殷澤安; 劉操; 曹志彬 申請（專利權(quán)）人 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京易光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 東莞市譯碼半導(dǎo)體有限公司
地址 523000 廣東省東莞市常平鎮(zhèn)盧屋村創(chuàng)業(yè)二路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種WAFER減薄機專用進(jìn)出料提籃，包括提籃主體，所述提籃主體左右兩個面設(shè)置有兩組把手，所述提籃主體左右兩組把手的下面設(shè)置有限位塊，所述提籃主體的內(nèi)部設(shè)置有提籃單片，所述提籃單片中部設(shè)置有凸起，所述提籃主體下端設(shè)置有底座，所述底座設(shè)置有兩組對稱的第一長方體支撐座，所述底座上表面設(shè)置有第二長方體支撐座、U形支撐座和第三長方體底座，改善后提籃增加了單片WAFER間隙，降低作業(yè)員取/放料操作難度，改善后提籃間接性增加了單片及片與片WAFER間隙，對進(jìn)/出料機械手臂定位精度要求變低，以及對WAFER變型適應(yīng)能力增強，極大程度的避免了WAFER破片品質(zhì)風(fēng)險。